Димаетр пластин: 150 - 200 мм
Толщина приборного слоя: 90 – 500 нм
Толщина скрытого диэлектрика: 100 – 500 нм
Шероховатость поверхности на участке 2х2 мкм: < 0,5 нм
Димаетр пластин: 150 - 200 мм
Толщина приборного слоя: 4 – 100 мкм
Толщина скрытого диэлектрика: до 2,0 мкм
Шероховатость поверхности на участке 2х2 мкм: < 0,5 нм