| Параметр |
Характеристики |
| Состояние разработки: |
Пластины поставляются. Есть образцы для тестирования. |
| Толщина приборного слоя: |
4 – 400 мкм |
| Толщина основания: |
400 мкм (двусторонняя полировка), 430 мкм (односторонняя полировка) |
| Отклонение толщины приборного слоя: |
±1 мкм |
| Толщина скрытого диэлектрика: |
100 – 2000 нм |
| Отклонение толщины по пластине от среднего значения: |
<5 % |
| Тип проводимости исходных ластин: |
определяется по согласованию с заказчиком |
| Кристаллографическая ориентация : |
определяется по согласованию с заказчиком |
Возможно уточнение параметров пластин под требования заказчика
