| Масштаб переноса изображения: |
5:1 |
| Материал ФШЗ: |
Кварцевое стекло |
| Размер, мм (типоразмер в соотв. с международной классификацией SEMI): |
(152 х 152) ± 0,4
(6012, 6025) |
| Толщина ФШЗ, мм: |
6,35 ± 0,13 |
| Тип антиотражающего покрытия: |
хром с антиотражающим покрытием (AR) |
| Однопозиционный герметичный контейнер для чистых помещений: |
да |
| Оптические защитные мембраны (пелликлы): |
да/нет (по согласованию с заказчиком) |
| Тип пелликла: |
2ASM07P-122-1017HFLC 109,00 х 86,00 х 5,00 мм,
ASM14P-122-1017HFLC 147,00 х 126,00 х 4,75 мм,
GCA04P-122-1017HFLC 97,50 х 97,50 х 6,05 мм
или иной |
| Мин. размер на шаблоне, мкм: |
1,2 |
| Точность воспроизведения размеров, мкм: |
± 0,1 / ± 0,05 |
| Точность совмещения, мкм: |
0,08 |
| Однородность критических размеров, нм (не более): |
70 |
| Размер недопустимого дефекта, мкм: |
0,4 |
| Проектирование: |
Проектирование шаблонов и подготовка управляющей информации по исходной топологической информации в форматах OASIS, GDSII, DXF |
