Масштаб переноса изображения: |
5:1 |
Материал ФШЗ: |
Кварцевое стекло |
Размер, мм (типоразмер в соотв. с международной классификацией SEMI): |
(152 х 152) ± 0,4 (6012, 6025) |
Толщина ФШЗ, мм: |
6,35 ± 0,13 |
Тип антиотражающего покрытия: |
хром с антиотражающим покрытием (AR) |
Однопозиционный герметичный контейнер для чистых помещений: |
да |
Оптические защитные мембраны (пелликлы): |
да/нет (по согласованию с заказчиком) |
Тип пелликла: |
2ASM07P-122-1017HFLC 109,00 х 86,00 х 5,00 мм, ASM14P-122-1017HFLC 147,00 х 126,00 х 4,75 мм, GCA04P-122-1017HFLC 97,50 х 97,50 х 6,05 мм или иной |
Мин. размер на шаблоне, мкм: |
1,2 |
Точность воспроизведения размеров, мкм: |
± 0,1 / ± 0,05 |
Точность совмещения, мкм: |
0,08 |
Однородность критических размеров, нм (не более): |
70 |
Размер недопустимого дефекта, мкм: |
0,4 |
Проектирование: |
Проектирование шаблонов и подготовка управляющей информации по исходной топологической информации в форматах OASIS, GDSII, DXF |