| Разработка и внедрение процедур технического обслуживания и ремонта |
- анализ технической документации;
- разработка и согласование регламента технического обслуживания;
- разработка контрольных карт
|
| Сервисное обслуживание и ремонт широкого ряда оборудования для производства кристаллов с проектными нормами 1,6 - 0,35 мкм |
- оценка технического состояния;
- поиск и устранение неисправностей отдельных узлов и блоков;
- проведение планового (сервисного) технического обслуживания в соответствии с технической документацией
Работаем с оборудованием отечественного и иностранного производства:
- оборудование плазмохимического травления и осаждения;
- оборудование ионной имплантации;
- оборудование химической и химико-механической обработки пластин;
- оборудование для термической обработки
|
| Модернизация оборудования |
- модернизация систем управления;
- модернизация систем подачи технологических газов с заменой арматуры (трубки, фитинги, фильтры), запорных и регулирующих устройств (регуляторы давления регуляторы расхода);
- модернизация вакуумных систем с подбором и заменой средств создания вакуума (насосы), вакуумной арматуры (краны, клапана, затворы, регулируемые заслонки);
- модернизация систем управления нагревом оборудования
|
| Поиск и устранение вакуумных и газовых течей технологического оборудования |
- анализ герметичности вакуумных систем с использованием современного диагностического оборудования
|
